快速、准确的读取计算机硬盘磁道的宽度对于提高硬盘存储信号密度和读取时间非常重要，压电纳米定位台纳米级定位精度为高精度磁盘磁道定位提供了解决方案。

XP－63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点，在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

特点

• 行程范围60μm

• 承载能力5kg

• 重复定位精度可达0．05％F．S．

• 亚毫秒响应时间

刚度大 闭环精度高

XP－63X系列压电纳米定位台独特的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可以实现亚毫秒级。

闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过PID 算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。

频率负载曲线

技术参数

型号：XP－633

运动自由度：X

行程范围（0～120V）：48μm

行程范围（0～150V）：60μm

闭环传感器类型：SGS

闭／开环分辨率：2／0．3nm

闭环线性度：0．15％F．S．

闭环重复定位精度：0．1％F．S．

俯仰／偏航／滚动：＜30μrad

推／拉力：480／80N

运动方向刚度：10N／μm

空载谐振频率：1．5kHz

闭／开环空载阶跃时间：5／3．2ms

承载能力：5kg

静电容量：7．2μF

材质：铝

重量：450g