过去我国ITO靶材的研发，滞后国外20年，生产的ITO靶材密度低，无法满足高端显示器行业，对于靶材质量的要求，因此90%都需要从国外进口；但现在这一局面发生了改变，何季麟院士团队研发的ITO靶材，不仅重要技术指标达到国际水准，实现了进口替代，而且让日本靶材市场降价80%！原来卖中国每公斤8000元，打破垄断之后，价格直接跌到每公斤1300元。

近年来，我国平板显示面板产业快速发展，产能已位居世界第一，而制造面板就需要用到一种非常重要的材料--ITO。ITO是氧化铟锡的简称，是平板显示面板背后的一层“涂装”。比如说我们的平板显示屏，它看起来就是一块玻璃，但却能导电发光，呈现出文字、静态和动态的图案。需要说明的是，正常的玻璃是不可能导电的，之所以能实现这一切，是因为其背后涂装了一层非常薄的透明导电膜，这层膜就是ITO薄膜。

由于我们起步较晚，所以这个领域一度是被日韩企业垄断，比如说烧结大尺寸ITO靶材，需要有大型的烧结炉。国外可以做宽1200毫米、长近3000毫米的单块靶材，国内只能造不超过800毫米宽的。产出效率方面，日式装备月产量可达30吨至50吨，我们年产量只有30吨，而且进口高端靶材，价格也得“看人脸色”，这与我国是铟资源大国、平板显示产业产能世界第一的地位极不相称。

目前全球高端 ITO靶材供应商主要为：日本能源、东曹和三井矿业。国产化的难点在于，靶材成分的均匀化和高密度化，未实现根本性突破，总体的国产化率在35%左右。而ITO靶材有CF制程与 Array 制程。国产与进口的差距，主要是在密度和结瘤特性上。

而如今，这些技术难点都得到了解决。就在前不久，郑州大学何季麟院士研发的“平板显示用、高性能ITO靶材、关键技术及工程化”项目，荣获国家技术发明奖二等奖。该项目突破了卡脖子关键技术，实现了从无到有、自主研发再到并跑超越，打破了国外技术封锁，凭借自主创新力量，实现了大尺寸ITO靶材，全流程制备的国产化。

先来认识这位靶材大咖

想弄清楚这位大咖的身世？先来说说ITO。ITO，氧化铟锡，这对有色金属届的“CP”，组合前是黄绿色的粉末，将它俩按照严格的比例混合、压型，制成灰绿色的素胚，放到特制的烧结炉内，经过1700摄氏度左右高温，变身为黑灰色的陶瓷半导体。

这就是那块炭黑色的长方形板块了，等它变身薄膜后就能大显神通：导电，透光，还隔离对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。

正因如此，它成为了平板显示制造中的“不二人选”。可一大块像钢板一样沉甸甸的“大家伙”，咋能变成屏幕玻璃后的肉眼不可见的膜，要知道，ITO膜的厚度仅有30纳米到200纳米。

原来，它先被制作成标准尺寸的固体靶材，由磁控溅射高速撞击，将其气化溅镀到玻璃基板上，形成膜状的“涂装”。

我们生活中的电视机、电脑显示器、平板电脑、手机屏幕后，都有ITO靶材的身影，不仅如此，它还活跃在太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀膜等领域，在全球拥有广泛的市场。

ITO靶材国内市场具备十倍替代空间

ITO靶材有中低端和高端之分：

中低端ITO靶材有玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材，包括汽车的显示屏、一些仪器仪表的显示。

高端ITO靶材主要用于显示器薄膜靶材、集成电路薄膜靶材以及磁记录和光记录膜靶材，尤其用于大面积、大规格的LED、OLED等领域，具备高密度、高纯度、高均匀性等特点。

全球ITO靶材复合增速5.5%左右，2019年需求约1680吨，中国需求占比49%。

从全球市场竞争格局来看，目前ITO靶材制备几乎由日、韩垄断。

代表企业有JX日矿金属、三井矿业、东曹、韩国三星等，其中日矿和三井两家几乎占据了高端TFT-LCD市场用ITO靶材的全部份额和大部分的触摸屏面板市场，每家年供应量据称达到600吨以上。

目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场，仅占国内市场30%的份额；而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口，占据了70%的市场份额。

中国大陆主要的ITO靶材生产厂商：

受进口靶材免税政策即将到期的影响，未来进口靶材的成本有可能会大大增加，从而使国产ITO靶材供应成本优势更加显著。随着国家相关政策大力扶持，优质订单将持续向第一梯队企业聚集，从行业角度看，国内靶材市场至少有十倍的进口替代空间。

“中国靶”问世，可替代进口

在实验室里，记者见到了大小尺寸不同的ITO靶材，通常靶材尺寸越大，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。

但有小到大，却不是一件容易的事。正是因为烧不出大尺寸的ITO靶材，我们被“卡脖子”了很多年。

中国是铟资源大国，但80%靶材市场被日韩垄断，不仅平板显示产业仰人鼻息，ITO高端靶材价格也要“看人脸色”。以往靶材价格高达每公斤8000元，如今价格跌至每公斤1300元，80%的降幅正得益于“中国靶”的问世。

“ITO靶材制备自主体系的建立牵系着占全球65%新兴显示产业的安全，但曾经，中国ITO靶材的研发滞后20年。”提起过去，中国工程院院士、郑州大学材料学院院长何季麟有些痛心。

为何选择这一领域？何季麟院士的回答很明确：“国家战略需要！”

“在上世纪末，我们便关注ITO靶材的研发，经过20余年的科技攻关，实现了从无到有、自主研发再到并跑超越，打破了国外技术封锁，凭借自主创新力量实现了大尺寸ITO靶材全流程制备的国产化。”

据了解，何季麟院士团队创新发明了ITO靶材粉体制备、素坯注浆成形、无压氧气氛烧结与靶坯绑定——关键技术体系，建立了ITO靶材制备新型工艺流程，形成了完善的全流程工艺装备体系及控制标准，实现了ITO靶材粉末冶金技术的创新应用，其技术指标达到了国际先进水平。该技术突破性解决了高性能ITO靶材制备全流程工序的关键技术与装备“卡脖子”问题，填补了国内空白。

在郑州大学的技术支持下，目前建成了完善的ITO靶材研发平台和生产线，生产的ITO靶材在国内首次成功应用于京东方高世代TFT线，完全可替代进口。

何季麟院士团队的成功再次说明，要想解决卡脖子难题，只能靠自己，核心技术是求不来也买不来的，最后再次感谢何季麟院士团队，20多年的辛勤付出，没有你们，我们的国产平板显示厂商，只能继续看人脸色，忍受6倍多的垄断暴利价格,此致敬礼。

本文来源：科技宅男圈，大河网，乐晴智库