2009年开始承担“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”专项（02专项），主要包括“IC装备机械手及硅片传输系统系列”以及“300mmIC生产线自动物料搬运系统”，覆盖半导体前道和后道自动化设备。

　　：洁净机器人突破国外封锁，销量有望保持高速增长

　　2017年国内半导体行业投资持续增长，公司洁净机器人销售数量大幅增长。公司真空大负载机器人大批量于MOCVD产业，公司成为全球美国以外唯一能供应此类机器人的企业。公司成功研发的8英寸洁净传输平台、双臂大气机器人得到市场批量应用，并与国内光刻机企业联合开发高精度大气机器人。

　　投资韩国著名半导体与面板设备企业--韩国新盛FA,全面进军半导体

　　2018年1月份，公司公告参股公司新松投资（持股40%）拟以1,040亿元韩币（约6.4亿人民币）收购韩国新盛FA公司80%的股权。

　　韩国新盛是韩国上市公司（011930.KS），在半导体与面板领域享誉盛名，在全球范围位居前五，在半导体和面板自动化发达的韩国位居前三。

　　韩国新盛FA公司是韩国新盛分立的以工厂自动化业务（FA业务）设立的公司。2017年，韩国新盛FA公司收入25亿元；收入规模和新松机器人相当。其主要业务包含面板显示自动化设备（Stocker,OHT,RGV,OHCV等），半导体自动化设备（包含HT,OHT等），工厂自动化设备（包含HT,OHT等）。

　　韩国半导体设备企业发展、壮大之道--目前仅次于欧美和日本

　　1） 韩国半导体产业的崛起：存储器产业+面板产业。韩国半导体市场存储型占到80%以上，其中三星和SK海力士各居存储器市场第一、二名。面板企业三星、LG也是全球领先。

　　2） 下游带动韩国半导体设备厂商走向国产化道路。2009年底，韩国开始重点推进低温化学气相沉积、蚀刻设备、化学机械研磨设备、关键点测量设备、离子掺杂设备等7个商业化项目。目前韩国半导体设备的实力已经仅次于日本和欧美。根据SEMI美国的研究报告，韩国和欧美日顶级设备厂商的技术差距为2年。

　　3） 韩国半导体设备领先企业：SEMES、WONIK IPS、SFA（韩国新盛FA）等均有核心设备技术。特别是在沉积，刻蚀，研磨领域，SEMES, KC Tech, PSK等已达国际水平。中国企业有望依托庞大国内市场进行外延合作。