现代微电子和涂布硅片光伏电子。最具成本效益的生产方法是减少单个晶体管,CPU芯片和太阳能电池从大型单位称为硅晶圆。这意味着高度无菌硅片必须准确和可重复涂于一系列不同的物质。特殊卧式炉用于这一制造过程,因为它们允许的条件定义相关的反应。高性能、非常可靠的现代微驱动器适合炉物流,即装卸炉管和炉门的开启和关闭。

　　几乎所有的现代电子设备是基于硅片将一系列组件,如晶体管。他们需要迅速和大量生产,以提供具有成本效益的定价对单个芯片。芯片因此产生大量被称为“晶”的物体,这是硅表测量100至300毫米,,然后分开。特定的晶片表面处理也可能涉及大气吸收的磷和硼化合物在低压化学气相沉积(CVD)。Tempress系统容积Vaassen在荷兰已经开发出一种高度灵活的卧式炉提供芯片制造商的高度灵活性。炉用于大规模生产太阳能电池基于晶片质量。健壮的微drivess开发的微驱动器专家FAULHABER Schonaich斯图加特附近用于加载个人炉管道。他们也会自动关闭炉门,这是一个至关重要的安全功能,高活性化学物质用于熔炉。

　　定做晶片治疗

　　电子行业生产方式变化更快比几乎任何其他部门。因此所有需要使用的系统的灵活适应能力。

　　各种不同的生产需求。卧式炉实施这些行业需求的完美。四个反应炉室横向排列,含156 mm x 156 mm晶圆生产的太阳能电池。大约有400到500晶圆管,所以它只需要一个过程的外套高达每小时1500晶片。太阳能电池板生产、晶圆的面积平均后可以用于生成4 W的能量。如果你认为一个普通住宅屋顶有大约50板生产约200 W,Tempress炉的产量代表太阳能电气性能每年30到35 MW。高吞吐量水平允许具有成本效益的大规模生产的太阳能电池。锅炉在正常工作压力或真空,气温介于380和1380°C。因为晶片床单是昂贵的,过程的可靠性是至关重要的,所有的组件必须满足严格的要求。Tempress数据管理系统允许范围广泛的参数配置,从温度管理通过精确测量气体压力控制。有一个特殊的加载系统的加载和卸载个别炉管。微驱动器作为执行机构。驱动器的主要要求是一个高水平的从一个非常紧凑的驱动转矩,加上精密定位。也是,驱动器必须非常可靠。毕竟,错误的代价非常昂贵,因为高成本水平和腐蚀性化学物质的使用。稳健设计的行星齿轮也是一个决定性因素。执行机构选择的公司的其他好处包括完成驱动的紧凑设计,匹配的编码器,其活力和直观的控制。

　　微drivess——强劲和精确

　　FAULHABER范围的各种驱动解决方案部署在不同的熔炉。加载系统,例如,使用一个DC-Micro驱动器。diameter-compliant行星齿轮减少速度,同时增加了驱动转矩。根据设计(正常或heavy-loader),使用的驱动器有一个直径32和38毫米转换比率和金属行星齿轮迷14:1或3.71:1。在两个版本,有插件编码器,使晶片的精确定位系统基于256脉冲的电机轴的革命。齿轮转换也会增加驱动轴的精度。有更严格的要求关闭炉门的安全性至关重要的功能。必须保证可靠的锁定系统,以确保气体不从炉管泄露。这就是为什么电机编码器和行星齿轮一些模型也安装了电磁刹车。这些保证车门关闭安全甚至在发生停电。制动单元也插入到32毫米电动机,与整个单元包括电机——仅72.5毫米。

　　现代微drivess提供的所有功能更大的紧凑的空间内的驱动器。无论是编码器,齿轮迷或刹车,几乎所有组件现在可以在小型形式。他们的一流设计可靠性保证高水平的过程。