投资要点

PECVD＋SACVD＋ALD，国产薄膜沉积产业化先锋。公司核心团队具备诺发／爱思强／Intel等大厂技术背景，为多项PECVD／ALD／SACVD国家专项牵头人。大基金／中微／国投等资本支持下，公司是国内唯一一家产业化应用PECVD、SACVD设备的厂商，具备不可替代性。

客户覆盖核心晶圆厂，持续受益扩产成就规模化成长。2022年往后看，内资晶圆厂12吋潜在扩产产能至少155万片／月，支撑3－4年高景气扩产周期。公司客户中芯国际／长存／华虹／晶合／粤芯／长鑫，覆盖下游核心晶圆厂，未来将持续受益下游扩产实现高速规模化成长。

贸易争端威胁供应链安全，国产替代势在必行。全球半导体设备市场呈现日、欧、美供应商垄断态势，中国大陆半导体设备综合自给率很低。大国博弈背景下，保证产业供应链安全迫在眉睫；国产化下国内设备厂商厚积薄发，高速放量。

盈利预测：我们预计公司2022－2024年营业收入分别为12．4／18．9／26．3亿元，归母净利润分别为1．3／2．3／3．7亿元，首次覆盖，给予“推荐”评级。

风险提示：（1）下游晶圆厂扩产不及预期；（2）产业研发与产业化应用不及时；（3）上游供应紧张影响出货。