P12A．XY200Z100系列压电纳米定位台完全满足样品校准应用的要求，45mm×45mm的大孔径允许直接将物镜放置在样品下面。集成闭环反馈传感器，保证长期高精度样品调整，一体式结构使得多维运动无耦合。

产品特性

· 三维压电式样品定位台
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 运动范围可达X250／Y250／Z100μm
· 快速响应

闭环定位精度高

P12A．XY200Z100系列压电纳米定位台配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。

带载阶跃时间

P12A．XY2Z100带载100g，满行程阶跃时间60ms。

技术参数

型号：P12A．XY200Z100S

运动自由度：XYZ

行程范围（0～120V）：XY200／Z80μm

行程范围（0～150V）：XY250／Z100μm

闭环传感器：SGS

闭环分辨率：XY13／Z7nm

闭环线性度：XY0．1／Z0．2％F．S．

闭环重复定位精度：XY0．05／Z0．1％F．S．

空载谐振频率：XY240／Z150Hz

承载能力：500g

静电电容：XY7．2／Z1．8μF

材质：钢、铝