3D打印让芯片制造摆脱光刻机的束缚,可合成任意形状的纳米晶体

芯闻速递 2021-10-18

光刻机纳米晶体

580 字丨阅读本文需 2 分钟

莱斯大学的工程师使用复杂的 3D 打印机和独特的墨水,为电子和光子设备创造了玻璃和晶体的纳米结构。

电子工业建立在材料硅之上:微处理器的基本半导体基板。自上而下的半导体制造存在某些局限性,本研究试图使用自下而上的方法,利用增材制造来解决这些局限性。

用传统的光刻技术制作复杂的 3D 几何形状非常困难,它也不是很环保,因为它需要大量的化学品和很多步骤。即使付出了这么多努力,一些结构也无法用这些方法制造出来。

原则上,可以打印任意的 3D 形状,这对于制造奇特的光子设备可能非常有趣。

实验室使用双光子聚合工艺和复杂的 3D 打印机来创建线宽只有几百纳米的结构:小于可见光的波长。工程师们为该方法开发了一种独特的墨水。他们使用掺杂聚乙二醇的二氧化硅纳米球制造树脂,这使它们变得可溶。

3D打印纳米结构

激光通过促使墨水吸收两个光子来“书写”线条,从而引发材料的自由基聚合。

正常的聚合反应涉及聚合物单体和光引发剂:吸收光并产生自由基的分子。光引发剂同时吸收两个光子,这需要大量能量。只有这种能量的一个非常小的峰值会导致聚合,而且只在非常小的空间内聚合。这就是为什么这个过程使我们能够超越光的衍射极限。

印刷后,结构通过高温烧结固化,消除所有聚合物,留下无定形玻璃或多晶方石英。加热时,材料会经历从玻璃到晶体的阶段;温度越高,晶体变得越有序。

实验证明,该材料可以掺杂各种稀土盐,这使得结构光致发光:这是对定制光学应用的宝贵适应。

接下来,工程师将进一步改进工艺,旨在以小于 10 纳米的分辨率创建细节。

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